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【新品上市】LINXON LSP500 標準皮拉尼真空計 – 經濟、耐用、精準的真空量測首選

NEWS2026/05/15

產品簡介

在各類工業與半導體製程中,穩定可靠的前級真空壓力監控是確保系統正常運作的關鍵。知名真空設備大廠 INFICON 旗下的品牌 LINXON,正式推出全新「LSP500 標準皮拉尼真空計」。這款真空計採用經過長時間驗證的熱傳導(熱散失)物理原理,專為需要穩定監測  壓力範圍的真空應用而設計。

▍核心優勢與特色

  • 大幅降低維修成本:具備現場可替換的感測器模組(Spare sensor)設計。若內部感測單元因長時間運作而耗損,技術人員可直接在現場輕鬆更換感測頭,展現出極具客戶友善與高成本效益的優勢。

  • 一鍵智能校正:機身配備實體操作按鍵,只需輕鬆一按即可快速完成大氣壓 (ATM) 與高真空 (HV) 的校正調整。

  • 高整合性與耐用設計:採用標準對數訊號輸出,極易與現有系統整合。機身由堅固的不鏽鋼測量單元與鋁合金外殼組成,且測量精準度完全不受安裝方向的限制,賦予設備端最大的機構設計自由度。

  • 符合國際規範:產品具備 CE 認證及 RoHS 環保規範合規性。

▍技術規格總覽

  • 量測原理:皮拉尼熱傳導原理 (thermal conductance acc. to Pirani)

  • 量測範圍:5*10-4 至 1000 mbar (針對空氣、O2、CO、N2)

  • 輸出訊號:0~+10.3V(dc)

  • 真空接口:DN 16 ISO-KF

  • 燈絲材質:鎢絲 (W)

  • 防護等級:IP40

  • 重量:約 80 g

▍主要應用領域

LINXON LSP500 的高耐用性使其能夠勝任無數種真空應用場景:

  • 前級真空壓力監控 (例如:高真空幫浦與前級幫浦之間的管路)

  • 控制高真空游離真空計

  • 半導體製程設備

  • PVD 鍍膜製程 (玻璃、光學鍍層、工具、裝飾層)

  • 冷凍乾燥製程 (Lyophilization) 與電池乾燥製程

  • 真空爐熱處理

  • 分析儀器整合 (例如:質譜儀、掃描式電子顯微鏡)

▍聯絡我們

如果您對 LINXON LSP500 真空計的規格有進一步的需求,或需要針對廠內現有的真空系統進行升級與維護評估,歡迎隨時聯絡碩彥企業股份有限公司。我們的技術與業務團隊將竭誠為您提供最專業的解決方案與報價服務!