【新品上市】漢鐘 (HANBELL)新型氣冷式真空Pump- PMA40

PMA40是一款抽氣量達 40 m³/h (約 667 L/min) 的中小型乾式真空設備。其核心優勢在於完全無油污染、體積輕巧，且能在大氣壓至高真空範圍內保持極佳的穩定性，是實驗室與精密製程的首選。

▍核心產業應用與適用設備

- 半導體、光電與電子產業

在微電子製程中，環境潔淨度直接決定產品良率。

• Load-lock（傳送室）： 負責將晶圓從大氣環境平穩傳送至高真空反應室。

• PVD/CVD（物理/化學氣相沉積）： 作為渦輪分子泵 (TMP) 的前級泵 (Backing Pump)。

• 離子佈植 (Ion Implantation)： 維持高真空環境以防止粒子碰撞與能量損失。

• LED/OLED 封裝： 確保封裝過程不受油氣分子汙染。

- 學術研究、實驗室與研發分析

PMA40 的抽速適中，特別適合桌上型或中型研究設備。

• 精密質譜儀 (Mass Spectrometry)： 如 LC-MS、GC-MS，提供高度穩定的前級真空環境。

• 掃描式電子顯微鏡 (SEM)： 建立無油成像環境，提升顯微影像清晰度。

• 真空烘箱與乾燥器： 用於化學樣品的除水、除溶劑作業。

• 離子濺鍍機 (Sputter Coater)： 研發用小型鍍膜系統。

  ※針對腐蝕性氣體應用：可選配特殊抗腐蝕鍍層 (Anti-Corrosion Coating)※

-  生物醫療與製藥工程

乾式結構可徹底避免交叉汙染，並能處理含有水氣的製程。

• 冷凍乾燥機 (Freeze Dryer)： 用於小型研發型或藥品包裝前的乾燥作業。

• 真空滅菌鍋 (Sterilizer)： 深度抽除醫療器械孔隙中的空氣。

• 離心濃縮機： 用於生物樣本的快速濃縮。

- 表面處理與工業自動化

• 氦氣洩漏偵測儀 (Leak Detector)： 作為檢漏儀內部的核心真空動力來源。

• 手套箱 (Glove Box)： 用於高純度氣體置換，維持內部恆定的惰性氣體環境。

• 真空熱處理爐： 用於小型精密零件的淬火、回火或真空焊接。

 ▍技術優勢總結

• 極致潔淨度： 完全不需真空油，徹底杜絕油氣回流風險，滿足實驗室最嚴苛的純淨需求。

• 低維護成本： 無需頻繁更換油封與真空油，保養週期長，大幅減少實驗室耗材開支。

• 優異耐用性： 多段式魯式 (Multi-stage Roots) 結構設計，能承受較大壓力波動，且對少量粉塵具有極佳的耐受力。

• 智能防護： 建議搭配 氮氣吹氣 (N2 Purge) 功能使用，能有效保護內部軸承與密封件，在處理腐蝕性或易燃氣體時大幅延長設備壽命。

 ※如果您正考慮用於特定的*製程氣體*（如具腐蝕性或易燃氣體），建議確認該機型是否具備*氮氣吹氣（N2 Purge）*功能，以延長內部軸承與密封件的使用壽命。※